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Lecheng Intelligence Technology (Suzhou) Co., Ltd.
Telefon
+86-17751173582
Das Wafer-Laser-Annealing-System zeichnet sich durch ein modulares Design mit konfigurierbaren Laserquellen (308 nm/532 nm/1064 nm) und einem hochpräzisen, luftgelagerten Bewegungstisch (Positioniergenauigkeit ±1 μm) aus. Das kompakte, reinraumtaugliche System mit den Abmessungen 2 m × 2 m integriert Echtzeit-Temperaturüberwachung und automatische Fokusanpassung für eine konsistente Prozesskontrolle.
Präzisionsglühen: 0,1–5 J/cm² einstellbare Energiedichte mit ±1 °C Temperaturregelung
Hoher Durchsatz: Verarbeitet 100–500 Sites pro Sekunde (100-mal schneller als RTP)
Selektive Verarbeitung: Ermöglicht das Tempern auf Einzeltransistorebene
Nicht-thermische Schäden: Ultrakurzer Impuls verhindert Substraterhitzung
Smart Control: KI-basierte Parameteroptimierung und Fehlererkennung
Erweiterte Logikgeräte: Source/Drain-Annealing für 7-nm-/5-nm-Knoten
3D NAND Flash: Kontaktglühen für vertikale Speicherstrukturen
Leistungsbauelemente: SiC/GaN-Glühen für verbesserte Mobilität
CIS Manufacturing: Leistungssteigerung auf Pixelebene
Advanced Packaging: Interconnect-Glühen für 2,5D/3D-ICs
Wichtige Leistungsdaten:
Parameter | Spezifikation |
|---|---|
Wafergröße | 4-12 Zoll |
Wellenlänge | 308/532/1064 nm wählbar |
Energiedichte | 0,1–5 J/cm² |
Positionierungsgenauigkeit | ±1 μm |
Durchsatz | 100–500 Websites/Sek. |
Temperaturregelung | ±1℃ |
Dank seiner fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen eignet sich das System ideal für die Halbleiterfertigung der nächsten Generation. Es bietet eine überlegene Geräteleistung bei gleichzeitig hoher Ausbeute und hohem Durchsatz.
Ultrapräziser Lasertransfer für Micro-LED-Arrays. Hochgeschwindigkeits-Massenproduktion mit Mikrometergenauigkeit. Der berührungslose Prozess gewährleistet, dass keine Schäden entstehen. Modulares Design für flexible Produktionsskalierung.
MehrHochpräzises Laserauftragschweißen für dauerhafte Metallreparaturen. Umweltfreundliche Verfahren reduzieren Abfall und Energieverbrauch. Automatisierte Kontrollen gewährleisten gleichbleibend hochwertige Beschichtungen. Die Präzision und Zuverlässigkeit unserer Produkte wird von der Industrie weltweit geschätzt.
MehrPräzisionsschweißen für die hocheffiziente Produktion von Elektrofahrzeugbatterien. Vollautomatisches System steigert die Geschwindigkeit und reduziert Fehler. Das robuste Design gewährleistet eine stabile, langfristige Fertigungsleistung. Anpassbare Lösungen für verschiedene Batterietypen und -größen.
MehrUmweltfreundliche Laserreinigung ersetzt chemische Behandlungen. Präzise Reinigung ohne Beschädigung der Grundmaterialien. Das leichte Design ermöglicht eine einfache Bedienung überall. Geringer Wartungsaufwand mit langlebiger Faserlaserquelle.
MehrDurch präzises Laserschmelzen werden komplexe Metallteile Schicht für Schicht aufgebaut. Die Regelung mit geschlossenem Regelkreis gewährleistet eine gleichbleibende Teilequalität mit hoher Dichte. Multimaterialfähigkeit für Titan, Stahl und Legierungen.
MehrDie simultane 5-Achsen-Steuerung ermöglicht die komplexe 3D-Teilebearbeitung. Integrierter Drehtisch bearbeitet große gekrümmte Flächen. Eine intelligente Kollisionsvermeidung sorgt für eine unterbrechungsfreie Produktion.
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