Laserschneidsystem für Siliziumkarbid-Blöcke

Strukturelle Merkmale

1. Hochleistungs-Ultrakurzpulslasersystem: Nutzt Pikosekunden-/Femtosekunden-Pulslaser, um Wärmeeinflusszonen (WEZ) und Materialschäden zu minimieren.

2. Präzisions-Bewegungstisch: Ausgestattet mit linearen motorbetriebenen Systemen, die eine Wiederholgenauigkeit der Positionierung von ±1μm für stabile und konsistente Schnittwege erreichen.

3. Adaptive optische Fokussierung: Passt die Laserfokuspunkte dynamisch an, um Blöcke unterschiedlicher Dicke zu bearbeiten und so eine optimale Schnittqualität zu gewährleisten.

4. Echtzeitüberwachung und -rückmeldung: Integrierte CCD-Bildverarbeitungssysteme für Ausrichtung und Laserentfernungsmessung ermöglichen die Live-Prozesssteuerung mit automatischer Parameteranpassung.

5. Modulares Design: Unterstützt Mehrstationenkonfigurationen und ist mit 4-Zoll-, 6-Zoll- und 8-Zoll-Barren kompatibel, um eine höhere Flexibilität zu gewährleisten.

Technische Vorteile

1. Geringer Materialverlust: Durch berührungsloses Laserschneiden werden Schnittfugenbreiten von 20–50 μm erreicht, wodurch die Materialausbeute um über 30 % verbessert wird.

2. Hoher Durchsatz: 5–10-mal schneller als Diamantdrahtsägen, wodurch die Bearbeitungszeit auf unter 2 Stunden pro Barren reduziert wird.

3. Überragende Oberflächenqualität: Die Schnittflächenrauheit (Ra) beträgt <0,5μm, wodurch Nachbearbeitungsschritte und Kosten minimiert werden.

4. Umweltfreundlich: Vermeidet Verschmutzungen durch Schneidflüssigkeiten und reduziert den Energieverbrauch um 40 %, was einer nachhaltigen Produktion entspricht.

Typische Anwendungen

1. SiC-Leistungsbauelemente: Ideal für die Waferpräparation von MOSFETs, SBDs und anderen Leistungselektronikbauteilen.

2. HF-Komponenten: Ermöglicht präzises Schneiden von GaN-auf-SiC-Wafern in 5G-Basisstationen und Satellitenkommunikationssystemen.

3. Neue Energiefahrzeuge: Unterstützt die SiC-Wafer-Produktion für EV-Wechselrichter, OBC-Module und andere kritische Komponenten.

Die Spezifikationen dienen nur als Richtwerte – alle Geräte sind vollständig an Ihre Bedürfnisse anpassbar!