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Laserätzgeräte

Ultrafeines 5μm Laserätzen – Submikron-Präzision für Halbleiter und FPCs. Hochgeschwindigkeitsverarbeitung mit 2000 mm/s – 4x schneller als chemisches Ätzen, kein Abfall. Kompatibilität mit über 200 Materialien – von Glas bis zu Titanlegierungen, berührungslos. Intelligente HMI-Steuerung – Autofokus & CAD-Integration, ISO-zertifiziert.
  • Le Cheng
  • Shanghai
  • Drei Monate
  • Fünfzig Sets innerhalb des Jahres

Strukturelle Merkmale

Unser Laserätzsystem vereint modernste Technik für unübertroffene Leistung:

  1. Ultrastabile Laserquelle: Faser-/UV-/Pikosekundenlaser mit einstellbarer Pulsdauer (ns/ps/fs), Wellenlängenoptionen (355 nm, 532 nm, 1064 nm) und Spitzenleistung bis zu 50 W.

  2. Hochpräzises Bewegungssystem: Luftgelagerter Granittisch mit einer Positioniergenauigkeit von ±1μm, gekoppelt mit Galvanometer-Scanning (7mm²–300mm² Sichtfeld) für dynamisches Strukturieren.

  3. Intelligente Steuerungssuite:

    • Echtzeit-Autofokus entlang der Z-Achse (Auflösung: 0,1 μm)

    • CCD-Bildausrichtung für eine Überlagerungsgenauigkeit von ±5 μm

    • HMI mit proprietärer Software zur Unterstützung der Formate DXF, Gerber und BMP.

  4. Mehrschichtige Umweltkontrolle:

    • Reinraumkompatibles Gehäuse der Klasse 1000

    • Aktive Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung (±0,5°C)

    • Integrierte Rauchgasabsaugung mit HEPA-Filtration

  5. Modularer Upgrade-Pfad: Optionaler 3-Achsen-Drehtisch, In-situ-Profilometrie oder Multi-Laser-Hybridkonfiguration.

  6. Laser Etching Equipment​


Technische Vorteile

Revolutionieren Sie Ihre Fertigung mit wegweisenden technologischen Innovationen:

  • Submikron-Präzision: Erreichen von Strukturgrößen von 5–20 μm (Ra < 0,2 μm) durch beugungsbegrenzte Strahlformung.

  • Berührungslose Bearbeitung: Vermeidung von Werkzeugverschleiß und mechanischer Belastung bei spröden Werkstoffen (z. B. SiC, Glas).

  • Adaptive Energiekontrolle: Pulsweise Leistungsmodulation (1–100 % in 0,1 %-Schritten) ermöglicht die selektive Ablation von Multischichten (z. B. ITO/Ag/PET).

  • Geschwindigkeit und Effizienz: Scangeschwindigkeit 2000 mm/s bei einer Beschleunigung von 50 g; 4x schneller als chemisches Ätzen.

  • Umweltbewusster Betrieb: 30 % geringerer Energieverbrauch im Vergleich zu Wettbewerbern; keine giftigen Ätzmittel oder Abwasser.

precision laser etching

Typische Anwendungen

Förderung von Innovationen in allen Branchen:


SektorAnwendungsfälleWichtigste Vorteile
HalbleiterWafer-Vereinzelung, IC-Trimmung, GehäusemarkierungSchnittbreite <10 μm, keine Mikrorisse
FPD/LEDFPC-Strukturierung, OLED-Verkapselungsentfernung, Ätzung von BerührungssensorenSelektive Ablation, Ausbeute 99,9 %
SolarPERC-Zellenbohrung (10–20 µm Löcher), Dünnschichtstrukturierung500 Bohrungen/Sek., ±2 μm Positionsgenauigkeit
MedizinprodukteStenttexturierung, Implantat-Mikrorillen, Lab-on-a-Chip-KanalherstellungBiokompatible Oberflächenmodifikation
Fortschrittliche Forschung und Entwicklung2D-Materialbearbeitung, Metasurface-Erstellung, Prototyping von QuantengerätenNanosekunden-Thermografie


Die Spezifikationen dienen nur als Richtwerte – alle Geräte sind vollständig an Ihre Bedürfnisse anpassbar!



  • Wie lange dauert es von der Gerätebestellung bis zur offiziellen Produktion bei einer Zusammenarbeit mit Locsen?

    Der Gesamtzeitrahmen variiert je nach Gerätespezifikationen und Produktionsliniengröße. Für Einzelgeräte ist für Standardmodelle ein 45-tägiger Fertigungszyklus erforderlich, die Gesamtdauer (einschließlich Versand und Installation) beträgt etwa 60 Tage. Für kundenspezifische Geräte werden je nach technischen Anforderungen zusätzlich 30 Tage benötigt. Für komplette Linienlösungen: • Produktionslinien auf 100-MW-Niveau benötigen ca. 4 Monate für Planung, Geräteherstellung, Installation und Inbetriebnahme • Produktionslinien auf GW-Niveau benötigen ca. 8 Monate Wir erstellen detaillierte Projektpläne mit engagierten Managern, die eine reibungslose Koordination gewährleisten. Beispiel: Die 1-GW-Perowskit-Produktionslinie eines Kunden wurde durch parallele Geräteherstellung und Anlagenbau 15 Tage früher als geplant fertiggestellt.
  • Bietet Locsen geeignete Ausrüstung und Partnerschaftslösungen für Startup-Perowskit-Unternehmen an?

    Locsen bietet ein „Phased Partnership Program“ an, das speziell für Perowskit-Startups entwickelt wurde. Für die anfängliche F&E-Phase stellen wir kompakte Geräte im Pilotmaßstab (z. B. 10-MW-Laserschreibsysteme) zusammen mit wichtigen Prozesspaketen bereit, um die Technologievalidierung und Produktiteration zu erleichtern. Während der Skalierungsphase haben Startups Anspruch auf Upgrade-Vorteile: • Kernmodule aus Pilotanlagen können mit Wertminderung gegen Produktionsmaschinen eingetauscht werden • Optionale technische Zusammenarbeit, einschließlich Unterstützung bei der Prozessentwicklung und Austausch experimenteller Daten Dieses Programm hat mehreren Startups erfolgreich einen reibungslosen Übergang vom Labor zur Pilotproduktion ermöglicht und gleichzeitig die Investitionsrisiken in der Frühphase gemindert.
  • Können die Geräte von Locsen Perowskit-Solarzellen unterschiedlicher Größe verarbeiten? Welche maximale Größe wird unterstützt?

    Die Laserausrüstung von Locsen zeichnet sich durch eine außergewöhnliche Größenkompatibilität aus und kann Perowskit-Solarzellen im Bereich von 10 cm × 10 cm bis 2,4 m × 1,2 m verarbeiten. Für die Verarbeitung übergroßer Zellen (z. B. starre Substrate mit den Abmessungen 12 m × 2,4 m) bieten wir kundenspezifische Portallasersysteme mit Synchronisierung mehrerer Laserköpfe an, um sowohl Präzision als auch Durchsatz zu gewährleisten. • Bewährte Leistung: Erfolgreich verarbeitete 1,2 m × 0,6 m große Zellen mit branchenführender Ritzgenauigkeit (±15 μm) und Gleichmäßigkeit (>98 %) • Modulares Design: Austauschbare optische Module passen sich unterschiedlichen Dicken an (0,1–6 mm) • Intelligente Kalibrierung: KI-gestützte Strahlausrichtung in Echtzeit gleicht Substratverwerfungen aus
  • Bietet Locsen maßgeschneiderte Laserlösungen für alle wichtigen Produktionsphasen von Perowskit-Solarzellen?

    Ja, Locsen bietet umfassende Laserbearbeitungslösungen für die gesamte Produktionskette von Perowskit-Solarzellen: P0-Lasermarkierung: Zur Zellidentifizierung nach der Filmabscheidung P1/P2/P3 Laser Scribing: Präzise Strukturierung von • Transparente leitfähige Schichten (P1) • Perowskit-Aktivschichten (P2) • Rückelektroden (P3) P4-Kantenisolierung: Kantenbeschnitt im Mikrometerbereich zur Vermeidung von Kurzschlüssen Tandemzellenmodule: Spezielle Laserätzsysteme für die Verarbeitung von Mehrmaterialschichten Unser integriertes Geräte-Ökosystem stellt sicher, dass alle Anforderungen der Laserverarbeitung erfüllt werden: • ≤20 μm Ausrichtungsgenauigkeit über alle Schichten hinweg • Thermische Einflusszone unter 5 μm kontrolliert • Modulare Plattformen unterstützen F&E bis hin zur Produktion im GW-Maßstab
  • Welche Zusammensetzungstoleranzbereiche unterstützen die Tools von Locsen für verschiedene Perowskitformulierungen?

    Die Lasersysteme von Locsen zeigen eine außergewöhnliche Anpassungsfähigkeit an verschiedene Perowskit-Zusammensetzungen. • Vorinstallierte Parameter: Optimierte Einstellungen für gängige Formulierungen (z. B. FAPbI₃, CsPbI₃) in der Laserrezeptbibliothek ermöglichen dem Bediener sofortigen Zugriff • F&E-Support: Für neuartige Zusammensetzungen (z. B. Perowskite auf Sn-Basis) liefert unser Team: Benutzerdefinierte Wellenlängen-/Fluenzkalibrierung innerhalb von 72 Stunden Leistungsvalidierung gewährleistet<1% PCE degradation post-processing • Smart Compensation: On-board spectroscopy modules monitor reflectivity in real-time, automatically adjusting: Pulse duration (20-500ns) Beam profile (Top-hat/Gaussian) Energy density (0.5-3J/cm²) Technical Highlights: ▸ Tolerance for ±15% stoichiometric variation in Pb:Sn ratios ▸ Support for 2D/3D hybrid phase patterning ▸ Non-contact processing avoids cross-contamination

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