Stylus-Profilometer: Ein ultrapräzises Instrument zur Kontaktoberflächen-Messung
Funktionsprinzip
Das Tastschnittmessgerät arbeitet durch direkten physischen Kontakt zwischen einer diamantbestückten Sonde und der Probenoberfläche. Beim Überfahren der Oberfläche erzeugen mikroskopische Spitzen und Täler vertikale Verschiebungen, die über Sensoren in elektrische Signale umgewandelt werden. Diese Signale werden durch Messbrücken, Verstärkung, phasensensitive Gleichrichtung und Filterung verarbeitet, um ein langsam variierendes Ausgangssignal proportional zur Tastschnittbewegung zu erzeugen und so die Oberflächentopographie zu rekonstruieren.
Gerätefunktionen
1. Hohe Präzision
Vertikale Auflösung im Sub-Angström-Bereich (≤0,1 nm)
Misst Höhenunterschiede im Mikrometer- bis Nanometerbereich
Erfasst umfassende Daten: Topographie, Rauheit, Welligkeit
2. Außergewöhnliche Stabilität
Hohe Wiederholgenauigkeit (σ < 0,5 % bei 1-μm-Schritten)
Reproduzierbare Messungen für subtile topografische Details
3. Benutzerfreundliche Bedienung
Optionales Farbsicht-Navigationssystem
Magnetische Sondentechnologie für schnellen Spitzenwechsel (<30 Sek.)
Auto-Leveling-Funktion und intuitive Software mit Kalibrierungsmodulen
4. Multifunktionale Fähigkeiten
Misst Stufenhöhe, Filmdicke, Rauheit, Spannung usw.
Unterstützt Multizonen- und 3D-Scanmodi
Integrierte statistische SPC-Analyse (z. B. Cp/Cpk-Berechnungen)
Anwendungsfelder
Halbleiterindustrie
Messung der Stufenhöhe dünner Schichten (PVD/CVD-Schichten)
Charakterisierung des Fotolackprofils
Quantifizierung der Ätzrate
CMP-Überwachung (Chemical Mechanical Polishing)
Photovoltaik
Schichtdickenanalyse für Solarzellen
Messung der Stufenhöhe nach dem Ätzen
Leistungsoptimierung von Perowskit-/CIGS-Zellen
